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Park Systems擴(kuò)展FX大型樣品AFM產(chǎn)品線，為下一代工業(yè)創(chuàng)新注入動力
韓國首爾2025年2月19日 /美通社/ -- 全球原子力顯微鏡（AFM）領(lǐng)軍企業(yè)Park Systems在2025年韓國半導(dǎo)體展覽會上推出了擴(kuò)展版FX大型樣品AFM系列產(chǎn)品。 繼Park FX200在2024年西部半導(dǎo)體展覽會（SEMICON West）首次亮相并隨后在德國、日本和韓國市場獲得強(qiáng)烈反響之后，Park Systems又推出了用于300毫米晶圓分析的Park FX300，以及集成了紅外（IR）光譜技術(shù)的Park FX200 IR和FX300 IR，進(jìn)一步拓展了大型AFM技術(shù)的邊界。
隨著300毫米晶圓成為半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)，Park FX300應(yīng)運而生，專為那些追求高精度分析但又不希望采用復(fù)雜全自動在線系統(tǒng)的用戶而設(shè)計。 對于正考慮在過渡到在線制造之前引入AFM的公司來說，Park FX300無疑是理想的解決方案。
Park FX300針對工業(yè)和研究應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化，有望成為行業(yè)變革者，為眾多AFM技術(shù)部署先進(jìn)的分析和質(zhì)量控制能力。 它配備了多項專業(yè)功能，如用于半導(dǎo)體后處理過程中銅焊盤長距離平整度測量的滑動平臺、用于晶圓級封裝中樣品精確對準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)平臺，以及用于增強(qiáng)樣品可視化的離軸光學(xué)系統(tǒng)。 此外，其風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU）可確保受控的無污染環(huán)境，非常適用于潔凈室應(yīng)用。
Park Systems還推出了FX200 IR和FX300 IR，將其AFM技術(shù)擴(kuò)展至納米級化學(xué)分析領(lǐng)域。 通過將傅里葉變換紅外光譜（FTIR）與AFM相結(jié)合，這些型號利用光誘導(dǎo)力顯微鏡（PiFM）技術(shù)，實現(xiàn)了小于5 nm的空間分辨率的化學(xué)識別。 這一突破使研究人員和工程師能夠在不損壞晶圓表面的前提下分析納米級結(jié)構(gòu)的化學(xué)成分，為半導(dǎo)體、高分子材料和生命科學(xué)領(lǐng)域的材料表征開辟了新的可能性。
FX200 IR和FX300 IR適用于從小尺寸樣品到200 mm或300 mm晶圓的檢測，能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率紅外光譜成像，為材料成分和分子相互作用提供前所未有的深入解析。 憑借其在超精細(xì)尺度上捕捉化學(xué)鍵合信息的能力，該技術(shù)以無與倫比的精度提升了半導(dǎo)體缺陷分析、高分子研究和先進(jìn)材料表征。
秉承Park Systems最大限度提高效率并盡量減少人工干預(yù)的理念，F(xiàn)X大型樣品AFM系列通過自動化的探針識別與更換、用于探針狀態(tài)監(jiān)測的二維碼系統(tǒng)，以及AI驅(qū)動的激光對準(zhǔn)功能，提升了可用性，實現(xiàn)了流暢操作。 StepScan?功能通過實現(xiàn)預(yù)定義坐標(biāo)下的自動化連續(xù)測量，進(jìn)一步提高了效率，使研究人員能夠以最少的人工干預(yù)分析表面形貌、電氣、機(jī)械和磁性特性。 特別是在紅外（IR）應(yīng)用中，激光對準(zhǔn)常常是一個重大挑戰(zhàn)，而該系統(tǒng)實現(xiàn)了這一過程的完全自動化，使得高分辨率化學(xué)分析比以往任何時候都更容易實現(xiàn)。
Park Systems執(zhí)行副總裁Sang-Joon Cho博士強(qiáng)調(diào)了公司對技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)地位的承諾：“Park Systems在精密測量和自動化領(lǐng)域擁有數(shù)十年的專業(yè)知識和創(chuàng)新經(jīng)驗，我們將這些經(jīng)驗融入其中，對FX大型樣品AFM系列進(jìn)行了優(yōu)化，使其能夠在工業(yè)和研究領(lǐng)域提供最高水平的晶圓分析。 Park FX300和nano-IR系統(tǒng)正在重新定義工業(yè)級和研究級AFM應(yīng)用的界限，為我們的客戶提供最先進(jìn)的AFM技術(shù)，共同塑造納米科學(xué)的未來?！?/p>
憑借最新的創(chuàng)新成果，Park Systems繼續(xù)鞏固其在原子力顯微鏡領(lǐng)域的全球領(lǐng)先地位，為不斷變化的半導(dǎo)體和納米科學(xué)研究需求提供行業(yè)領(lǐng)先的解決方案。
關(guān)于Park Systems公司（科斯達(dá)克證券交易所代碼：140860）
Park Systems公司是納米計量解決方案的先驅(qū)和領(lǐng)導(dǎo)者，致力于制造最高品質(zhì)的原子力顯微鏡（AFM）。公司以持之以恒的承諾，積極培養(yǎng)和維護(hù)與包括材料科學(xué)、物理、化學(xué)、生命科學(xué)、半導(dǎo)體以及數(shù)據(jù)存儲等學(xué)科領(lǐng)域在內(nèi)的研究人員和工程師之間的長期專業(yè)合作關(guān)系，并由此在行業(yè)中脫穎而出。 公司的使命是推動科學(xué)家和工程師的納米級創(chuàng)新，并促進(jìn)科學(xué)探索的進(jìn)步。 Park Systems的客戶包括全球頂尖的半導(dǎo)體公司和研究型大學(xué)。 Park Systems總部位于韓國水原，并在美洲、歐洲和亞洲設(shè)有地區(qū)辦事處，其股票在韓國證券交易所（KOSDAQ）公開交易。 如需了解更多信息，請訪問www.parksystems.com。
